東京工科大学　工学部　電気電子工学科　ブログ

こんにちは、電気電子工学科の前田です。

デバイス関係のいくつかの研究室では卒業研究にクリーンルーム（CR）を使います。トランジスタやLEDをはじめさまざまなデバイスの研究には、埃の極めて少ない特殊な環境が必要だからです。

GWが終わって卒業研究が本格的に始まる今頃、卒研生の皆さんは大学院生の先輩方からCRの使い方やルールについて詳しい説明を受け、これからクリーンウェアを着て初めてCRに入室することになります。先輩方がわかりやすく丁寧に教えてくれますので、さまざまな半導体プロセス装置もじきに扱えるようになります。