ナノ材料分析装置の修善と校正の様子
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こんにちは、電気電子工学科の木村です。
工学部電気電子工学科では、数ナノメートル*1という超微細なナノ材料を観察できるFE-SEM及び元素分析のマッピングが可能な EDX(またはEDS）という分析装置をクリーンルームとともに利用、管理しています。2023年3月28日にこれらの装置の修善や校正を行い、導入直後のような状態になりました。
*1. 1ナノメートル=1/1000000000メートル
*2. 電解放出型走査電子顕微鏡(Field Emission Scanning Electron Microscope)
*3. エネルギー分散型X線分光法(Energy dispersive X-ray spectroscopy)
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