東京工科大学　工学部　電気電子工学科　ブログ

今日は、電気電子工学科の高木です。

　半導体分野でメジャーな国際学会International Symposium on Semiconductor Manufacturing （ISSM）2022が12月12、13日に両国のKFC Hallで開催されました。この学会で発表した”Optimization of RF frequencies in dual-frequency capacitively coupled plasma apparatus using genetic algorithm (GA) and plasma simulation”がBeat Paper Awardを受賞しました。

　半導体を作るためのプロセスの中で、エッチングプロセスはデバイスの形状を形成します。最先端の半導体では、デバイス形状はナノオーダでコントロールする必要があり、プラズマを使ったエッチングが行われています。プロセスガスに電圧を加えることで、電子、イオン、原子、分子に分解されてプラズマとなり、これが半導体と反応して、エッチングが進みます。プロセスを安定かつ高精度に行うため、プラズマ状態の最適化が求められます。

　こうしたプロセス用のプラズマは、一般的には実験による試行錯誤により最適化されます。しかしながら、実験には多くの時間とコストを必要とします。そこで、半導体装置のプラズマシミュレーションをモデル化し、これに最適化プログラムを組合せた方法を提案しました。

　最適化には生物の進化を模擬して遺伝的アルゴリズム（Genetic Algorithm GA）を使いました。生物は交配、突然変異、自然淘汰という3種類のプロセスで進化します。プラズマシミュレーションとGA組み合わせて、最適化条件を探索しました。具体的には、エッチングに適した条件を組み合わせる（交配）、これまで全く異なった条件を生成する（突然変異）、適していない条件は削除する（自然淘汰）という過程を通して、適正化条件と求めました。

　今回の研究では、エッチングに必要とされる条件については、名古屋大学の低温プラズマ科学研究センターの関根 誠先生、蕭 世男先生に協力いただきました。また、計算については、卒研生　仲江川 竜弘さんに協力いただきました。皆様の協力に感謝いたします。

こんにちは、電気電子工学科の天野です。

先週、NTT東日本様の研修施設にある「NTTe-City Labo」を天野研の新卒研生（3年生）8名とともに見学させていただきました。共同研究でご一緒させていただいている皆様のご提案・ご尽力でこの見学が実現しました。関係者の皆様、ありがとうございました。

通信を活用している事例はもちろん、それ以外も含め様々な最新の取り組み事例を一度に知ることができました。これまでにもいろいろとお話を伺っていた私もたいへん学びになりましたし、初見の学生のみなさんは驚いたところが多かったと思います。資料でただ知るだけと違い、実際に動く事例を見るのは迫力・説得力が違います。

3年生はちょうど創成課題を通じて各自の研究テーマを決める文献調査をほぼ終えたところで、来週のミーティングで仮のテーマを定める予定です。ちょうどよいタイミングとなって、学生にとっては自身の研究テーマの展望を得るよい機会になりました。見学後には意見交換会も行いました。企業の方々と話をすることにかなり緊張している様子も見られましたが、これは就活に向けたよいトレーニングにもなったと思います。配属学生の新たな一面が見られたりもして、そういった意味でも有意義な見学会となりました。

こんにちは、電気電子工学科の天野です。

AI/IoTプロジェクトでは研究室のある建物である研究棟C 1Fの入り口入ってすぐのところにポスターを展示しています。これらのポスターはプロジェクトメンバーの研究内容を紹介しています。

先日、キャンパス見学中の高校生の皆さんに本学の広報担当者が私の研究ポスターで説明しているのに遭遇しました。後ろからお声がけしようとも思ったのですが見学ツアーのスケジュールが不明だったことと、私も次のミーティングの時間が迫っていたので断念しました。

後日、広報担当者からあのとき後ろにいましたよね？と指摘され、説明の御礼をお伝えすると共に、展示していたポスターはもともとは数年前に参加したビジネスフェアのときのものだったことを思い出しました。このポスターを用いた展示をきっかけに新たに2つの産学共同研究が始まったという記念すべき内容ですが、単体で説明するとなるとやや情報が不足しているのではないかと。

そこで最新の情報を反映し、もっと説明しやすい？ポスターを用意しますと約束しました。1ヶ月ほど経過してしまいましたが昨日ポスターを更新しました。ぜひ八王子キャンパスにお越しの際にはこちらもご覧いただければ幸いです。

こんにちは、電気電子工学科の坪川です。

12/4、12/5の両日に八王子市が主催する大学コンソーシアム八王子が開催され、

八王子市内の大学や高等専門学校から約280名の学生が発表参加しました。

工学部の電気電子工学科からも４名の学生が発表し、口頭発表の部で２名が優秀賞を受賞しました。

１人は電気電子工学科３年生の奈良 海徳さんが、私の担当する前期授業科目「地域連携課題」の成果として、

「安心して八王子駅前を歩くために」を発表し、優秀賞を受賞しました。

工学部で、この授業の成果を学外で発表したのは初めての試みでしたが、取組みを評価してもらうことができました。

もう１人は、私の研究室(坪川研)の４年生 我妻 嵩斗さんが「関節軌跡情報を用いた手話認識手法の評価」を発表し、

優秀賞を受賞しました。

受賞した２人は、とても誇らしい様子で、自信につながったと思います。これを励みに、今後も頑張ってください。

授業で学んだことを発表し受賞できたことは、私たち教員にとってもうれしい限りです。

（左：３年生 奈良さん　右：４年生 我妻さん）

https://gakuen-hachioji.jp/wp-content/uploads/2022_awards.pdf

大学コンソーシアム八王子学生発表会 受賞者一覧