東京工科大学　工学部　電気電子工学科　ブログ

こんにちは、電気電子工学科の高木です。

名古屋大学低温プラズマセンターとの共同研究しているプラズマシミュレーションの研究結果が、Japanese journal of Applied Physicsに掲載されました。

高木研究室では、エネルギー応用の１テーマとしてプラズマ応用に取り組んでいます。プラズマは、気体に高い電圧を加えることで、分子が原子やイオンに分解された状態です。自然界で見られる雷やオーロラもプラズマです。分解された原子やイオンは、そのままでは不安定で、元の分子に戻る、あるいは他の原子と反応しようとします。こうした（化学）反応を利用して、半導体を製造するプロセスに利用されています。

名古屋大学の低温プラズマ科学研究センターと、半導体製造用プラズマの共同研究を行っています。名古屋大学の装置で実験を行い、東京工科大学では実験を再現するプラズマシミュレーションを構築しています。プラズマの流れや、電極からの電子放出効果を加えていることで計算を高精度化しています。

2019年から始めたプラズマの研究がまとまり、2020年3月に開催された国際学会ISplasmaで発表しました。シミュレーションモデルの精度をさらに高め、論文投稿しました。論文は、Japanese Journal of Applied physicsの2021年の1月号に掲載されました。

今後も名古屋大学との共同研究を継続するともに、高木研究室で行っているプラズマ殺菌や育成用に使用している大気圧プラズマのシミュレーションへと発展させます。