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2019年10月

2019年10月28日 (月)

「低温プラズマ共同利用・共同研究」テーマに採択されました

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今日は、電気電子工学科の高木です。

プラズマは、気体に高い電圧を加えることで、分子が原子やイオンに分解された状態で、半導体のプロセスや表面処理などに広く使われています。名古屋大学の低温プラズマ科学研究センターから文科省の予算で「低温プラズマ共同利用・共同研究」テーマ募集がありました。高木研究室から提案した「プラズマシミュレーションテーマ」が採択され、8月より共同研究を始めました。

 

高木研究室では、エネルギー応用の1テーマとしてプラズマ応用に取り組んでいます。プラズマは、気体に高い電圧を加えることで、分子が原子やイオンに分解された状態です。自然界で見られる雷やオーロラもプラズマです。分解された原子やイオンは、そのままでは不安定で、元の分子に戻る、あるいは他の原子と反応しようとします。こうした(化学)反応を利用して、産業分野や医療分野への応用研究が勢力的に行われています。また、電圧を加えて生成されるプラズマは、ガス温度が低く、低温プラズマと呼ばれています。

 

名古屋大学には低温プラズマ科学研究センターがあり、国内でのプラズマ応用の研究センターに位置付けられています。2019年の5月に共同利用と共同研究の公募があり、プラズマシミュレーションのテーマで応募したところ、2019年の7月に採択されることが決定しました。

 

採用決定後の8月に低温プラズマ科学研究センターを訪問し、研究スケジュールを打合せました。9月には研究対象の装置を決め、シミュレーションモデルの構築を始めました。今回の研究では、半導体プロセスに使われるプラズマを対象に、実測されたプラズマ特性と、シミュレーションで得られた値を比較しながら、シミュレーションモデルの高精度化を目指します。

共同研究で得られた成果が使われ、半導体プロセスの発展に寄与できることを期待しています。

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2019年10月25日 (金)

コーオプ企業論での講演御礼

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こんにちは、電気電子工学科の天野です。

工学部の特徴の一つにコーオプがあります。実際に企業で就業するコーオプ実習を中心に、いくつかの講義があるのですが、その中にコーオプ企業論があります。この講義では様々な企業人の方にご講演いただいています。先日のコーオプ企業論ではティアーズコンピュータの寺内様にご講演をいただきました。

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2019年10月24日 (木)

研究紹介懇親会?での発表

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こんにちは、電気電子工学科の天野です。

大学では時折、学部教員の集まる懇親会が行われます。今回、工学部では研究紹介つきの懇親会「工学部サロン」の第1回目が開催されました。各学科から1名が発表することとなり、電気電子工学科からは天野が発表しました。

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2019年10月11日 (金)

沖縄での計測実験

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こんにちは、電気電子工学科の天野です。

きちんと調べないと通算何度目かはわかりませんが、今年2度目の計測実験(研究会を含めると3回目)のため、沖縄を訪れました。

天野研究室では沖縄で現在、大別して2カ所(山と海)で系統の異なるデータを計測しています。

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